真空热压键合机用途概述
设备主要应用:
1:生物、医药行业所用到的检测分析类流体芯片的键合。
2:模块化的医用监测类芯片键合
3:基于微流控技术创造的人体器官芯片的键合
4:对于小型流道0.05mm的流体芯片键合
5:化工行业各种微流道混合/液滴生成类芯片的键合
6:医药行业所用各种离心芯片,血液合成芯片的键合
7:半导体行业异类材料键合。
真空热压键合机主要参数
1:最大工作温度350℃
2:最大工作压力40KN(4T)
3:最大真空度200Pa(2mbar)
4:工作台面尺寸:500*500mm
5:加热台面温度恒温稳定度(室温~400℃):±1摄氏度
6:整机重量:450KG
7:设置压力范围:0-40KN(4T)
8:压力稳定度:(0-40KN范围):±20N
9:压力精确度:(0-40KN范围):±4%
10:真空度精确度:±0.05pa
11:加热台面材质:AL6061表面硬质阳极
12:加热控制单元:西门子PLC
13:压力控制单元:西门子PLC
14:设备显示器及操作界面:西门子12寸液晶触摸屏
15:操作系统:西门子人机交换界面
16:运行参数设置:20段参数智能连续
17:是否一键真空:是
18:最大升温速率:6℃/分钟
19:快速散热方式:腔体内独立风冷降温
20:压力监测方式:实时监测实时显示
21:屏幕显示实时温度变化曲线:有
22:屏幕显示实时压力变化曲线:有
23:压力来源:西门子私服电机+减速机+西门子驱动器
24:真空泵标配:德国莱宝真空泵
25:真空计:德国莱宝
26:设备额定电压:220V/50HZ
27:设备额定功率:4.2KW
28:外形尺寸:850(长)*680(宽)*1800(高)mm
29:泄真空速度可调:是
30:工作参数可存储。
真空热压键合的优点
1:适用各种塑料类(PMMA/PC/COC/PP/PEI等)材质的键合
2:无需使用任何胶水或者其他成分参与。在材料表面玻璃转化温度时施加一定压力便出现不可逆的键合力。
3:芯片键合后保持原有材质物理及化学特性。对于一些高透光类塑料基材质有良好的键合优势。
4:良好的键合力。有效避免胶粘或激光键合后出现渗液现象
5:解决了小尺寸流道无法键合的难题
6:多层基材的芯片可以一次性键合,可以让流体芯片设计更方便集成化
运行环境
无特殊要求
最小安装面积2平米,建议4平米
环境温度:10-40℃;相对湿度:30-80%